次世代半導体材料「β型酸化ガリウム結晶」の高純度成長法を農工大が開発

東京農工大学(農工大)は、高い省エネ効果を有する次世代パワーデバイス用半導体材料として注目されている「β型酸化ガリウム結晶」が有機金属気相成長(MOVPE)法で成長する化学反応メカニズムを解明し、高純度の結晶成長法を開発したと発表した。NICT、酸化ガリウムトランジスタで最大発振周波数27GHzを達成
同成果は、農工大大学院 工学研究院 応用化学部門の熊谷義直教授、同・後藤健助教、気相成長の町田
Source: グノシー・サイエンス

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